Si vous avez déjà vu un système d'inspection de plaquettes perdre progressivement en précision après quelques milliers de cycles, vous savez que la platine linéaire n'est pas un composant standard. J'en ai fait l'expérience directe lorsqu'une machine de collage de puces que nous étions en train de qualifier a commencé à présenter une dérive de positionnement dans les 10 % finaux de chaque cycle. La cause profonde n'était ni le système de vision ni le réglage du contrôleur, mais l'incapacité de la platine à maintenir la répétabilité sous des charges continues de démarrage et d'arrêt. Cette expérience a profondément influencé ma vision des composants de mouvement. Dans le domaine des équipements pour semi-conducteurs, il est généralement impossible de compenser une platine médiocre par un logiciel sophistiqué. La structure mécanique, elle, est soit fiable, soit défaillante. Voici mes conclusions concernant l'utilisation des platines linéaires de précision PSG sur plusieurs machines, des stations d'inspection optique automatisée de plaquettes aux outils de gravure laser.