Если вы когда-либо наблюдали, как система контроля пластин постепенно теряет свою эффективность после нескольких тысяч циклов, вы знаете, что линейный столик — это не просто стандартная деталь. Я убедился в этом на собственном опыте, когда на оборудовании для монтажа кристаллов, которое мы тестировали, начал наблюдаться дрейф позиционирования в последние 10% каждой смены. Первопричина заключалась не в системе машинного зрения или настройке контроллера, а в неспособности столика поддерживать повторяемость при непрерывных нагрузках типа «старт-стоп». Этот опыт сформировал мое сегодняшнее отношение к компонентам управления движением. В полупроводниковом оборудовании обычно нельзя исправить посредственный столик с помощью сложного программного обеспечения. Механическая основа либо выдерживает нагрузку, либо нет. Вот что я обнаружил, используя прецизионные линейные столики PSG на нескольких машинах, от станций автоматического оптического контроля пластин до лазерных разметочных инструментов.